優(yōu)勢供應(yīng)美國MKS Granville-Phillips發(fā)生器
MKS 傳感器 MKS Granville-Phillips MKS計量泵 MKS控制器 Granville-Phillips真空計
全系列產(chǎn)品大量現(xiàn)貨請咨詢上海茂碩機械設(shè)備有限公司

 MKS射頻功率發(fā)生器為薄膜處理設(shè)備提供可靠的固態(tài)功率。它們是半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的重要組成部分，該系統(tǒng)可以生產(chǎn)現(xiàn)代計算機和電子設(shè)備所需的集成電路（IC）或芯片。MKS射頻發(fā)生器與我們的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)和我們的V / I探頭相結(jié)合，構(gòu)成了一個完整的RF傳輸系統(tǒng)。

NOVA®系列RF發(fā)電機以2 MHz的頻率提供2,500或5,000瓦的額定輸出功率。NOVA系列發(fā)生器提供*的RF等離子生成和控制功能，可在薄膜處理應(yīng)用中以低成本和高成品率提供。它們非常適合在集成電路，平板顯示器和數(shù)據(jù)存儲設(shè)備制造過程中進(jìn)行等離子增強化學(xué)氣相沉積（PECVD），高密度等離子CVD（HDPCVD），蝕刻和其他薄膜應(yīng)用。

• 自動頻率調(diào)整允許固定匹配的網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行更快的調(diào)整
• 出色的可靠性，可延長正常運行時間并降低擁有成本
• 自動負(fù)載失配保護(hù)可防止功率放大器過度耗散
• 無限的負(fù)載阻抗范圍，可提供更大的正向功率“凈空”，并能在任何負(fù)載下穩(wěn)定功率
• 主動式前面板可*控制發(fā)電機

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